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解决一维材料黏附行为的实验方法综述 Review
James L. Mead, Shiliang Wang, Sören Zimmermann, Sergej Fatikow, Han Huang
《工程(英文)》 2023年 第24卷 第5期 页码 39-72 doi: 10.1016/j.eng.2023.02.012
一维(1D)材料(如纳米管和纳米线)的黏附行为在集成一维组件的新型器件以及基于一维阵列的仿生黏合剂的有效制造、功能和可靠性中起着决定性作用考虑了一维材料作为增强剂在纳米复合材料中的应用以及相关的界面表征技术。研究了样品制备和黏附测试过程中存在的环境条件对一维界面相互作用的潜在影响,并最终改变了一维材料的粘附行为。
用于超导纳米线单光子探测器的宽带超低温放大器 Research Article
李连鸣1,2,何龙2,吴旭1,2,牛晓康1,万超2,康琳2,3,贾小氢2,3,张蜡宝2,3,赵清源2,3,涂学凑2,3
《信息与电子工程前沿(英文)》 2021年 第22卷 第12期 页码 1551-1684 doi: 10.1631/FITEE.2100525
电沉积Mo和Mo-Co合金纳米线用于互联电阻的电阻率改性 Article
Jun Hwan Moon, Taesoon Kim, Youngmin Lee, Seunghyun Kim, Yanghee Kim, Jae-Pyoung Ahn, Jungwoo Choi, Hyuck Mo Lee, Young Keun Kim
《工程(英文)》 2024年 第32卷 第1期 页码 128-138 doi: 10.1016/j.eng.2023.07.017
Achieving historically anticipated improvement in the performance of integrated circuits is challenging, due to the increasing cost and complexity of the required technologies with each new generation. To overcome this limitation, the exploration and development of novel interconnect materials and processes are highly desirable in the microelectronics field. Molybdenum (Mo) is attracting attention as an advanced interconnect material due to its small resistivity size effect and high cohesive energy; however, effective processing methods for such materials have not been widely investigated. Here, we investigate the electrochemical behavior of ions in the confined nanopores that affect the electrical properties and microstructures of nanoscale Mo and Mo–Co alloys prepared via template-assisted electrodeposition. Additives in an electrolyte allow the deposition of extremely pure metal materials, due to their interaction with metal ions and nanopores. In this study, boric acid and tetrabutylammonium bisulfate (TBA) were added to an acetate bath to inhibit the hydrogen evolution reaction. TBA accelerated the reduction of Mo at the surface by inducing surface conduction on the nanopores. Metallic Mo nanowires with a 130 nm diameter synthesized through high-aspect-ratio nanopore engineering exhibited a resistivity of (63.0 ± 17.9) μΩ·cm. We also evaluated the resistivities of Mo–Co alloy nanowires at various compositions toward replacing irreducible conventional barrier/liner layers. An intermetallic compound formed at an Mo composition of 28.6 at%, the resistivity of the Mo–Co nanowire was (58.0 ± 10.6) μΩ·cm, indicating its superior electrical and adhesive properties in comparison with those of conventional barriers such as TaN and TiN. Furthermore, density functional theory and non-equilibrium Green’s function calculations confirmed that the vertical resistance of the via structure constructed from Mo-based materials was 21% lower than that of a conventional Cu/Ta/TaN structure.
关键词: Molybdenum Molybdenum–cobalt Interconnect Microstructure Electrodeposition Density functional theory
袁俊
《中国工程科学》 2001年 第3卷 第10期 页码 82-85
2000年2月美国制定了 “国家纳米技术战略”,引起世界各国的巨大反响,日本、欧洲的工业先进 国家先后制定了纳米技术发展规划。纳米科技这一崭新的前沿学科,被视为新一轮材料革命的核心,在航空航 天领域将产生重大影响。文章综述了纳米技术的概念、纳米材料及纳米技术的研究情况。
纳米工程混凝土界面过渡区的纳米力学特征 Article
王欣悦, 董素芬, 李镇明, 韩宝国, 欧进萍
《工程(英文)》 2022年 第17卷 第10期 页码 99-109 doi: 10.1016/j.eng.2020.08.025
本研究利用纳米压痕试验和统计学方法研究了纳米填料对水泥石与骨料间界面过渡区(interfacial transition zone, ITZ纳米压痕试验结果表明,水泥石复合纳米填料可提高水泥石-骨料ITZ 内部水化程度,减少微孔隙和低密度水化硅酸钙(low-density calcium silicate hydrate, LD C-S-H此外,本研究表征了一种新的由于纳米中心效应诱导产生的低密度水化硅酸钙(nano-core induced low-density calcium silicate hydrate, NCILD C-S-H微观力学分析结果表明,ITZ水泥石复合纳米填料后产生的纳米中心-壳单元会增加LD C-S-H的堆积密度,并显著增强水化硅酸钙(calcium silicate hydrate, C-S-H)基本粒子之间的相互作用本研究为在纳米尺度上理解纳米填料对混凝土ITZ 的影响提供了理论基础。
蒋庄德,王琛英,杨树明
《中国工程科学》 2013年 第15卷 第1期 页码 15-20
针对纳米器件中的典型几何特征,制备了3种纳米结构,采用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等测量工具对所制备的纳米样板进行了测量、分析和表征。提出转换薄膜厚度为线宽的公称值、基于多层薄膜淀积技术制备纳米宽度结构的方法,制备出了具有名义线宽尺寸分别为20 nm、25 nm、35 nm的纳米栅线结构。用离线的图像分析算法对所制备的纳米线宽样板的线边缘粗糙度/线宽粗糙度(LER/LWR)以及栅线线宽的一致性进行了评估。实验表明所制备纳米线宽样板的栅线具有较好的一致性,LER/LWR值小,且具有垂直的侧壁。采用电子束直写技术(EBL)和感应耦合等离子体刻蚀(ICP)制备了名义高度为220 nm的硅台阶样板。采用聚焦离子束(FIB)制备了纳米单台阶和多台阶结构,并对Z方向的尺度与加工能量之间的关系进行了分析。
姚骏恩
《中国工程科学》 2003年 第5卷 第1期 页码 33-37
纳米科技是当今国际上的一个热点。文章对纳米科技作了简要介绍, 纳米测量和加工是纳米科技中的一个不可缺少的重要组成部分。叙述了发展纳米测量和纳米加工技术的两个主要途径:一是发展传统技术,主要是电子显微术以及最近发展起来的聚焦离子束(FIB)- 电子束数控加工中心;二是创造新的测量仪器,建立新原理和新方法,介绍了国内外电子显微镜和扫描探针显微镜这两类纳米测量分析仪器的发展指出我国电子显微仪器和扫描探针显微镜的开发和生产面临困境,应尽快建立和加强自己的电子显微仪器和扫描探针显微镜等纳米测量和纳米加工设备制造产业,并列入国家科技发展规划。
纳米技术和纳米医学——肺癌诊断和治疗的希望之路 Review
尹伟, 潘峰, 朱俊杰, 徐军武, Diego Gonzalez-Rivas, Meinoshin Okumura, 唐志勇, 杨洋
《工程(英文)》 2021年 第7卷 第11期 页码 1577-1585 doi: 10.1016/j.eng.2020.04.017
傅杰,李光强,于月光,毛新平,方克明
《中国工程科学》 2011年 第13卷 第1期 页码 31-42
简要叙述了关于钢强化机理的研究现状,用化学相分析+X射线小角散射、RTO方法及高分辨透射电镜对薄板坯连铸连轧钛微合金化高强耐候钢中纳米粒子的属性进行了综合分析发现钛微合金化高强耐候钢中尺寸<36 nm的粒子,除纳米TiC以外,还存在大量的纳米Fe3C,其体积分数为同尺寸TiC体积分数的4.4倍,析出强化作用比纳米TiC粒子大,不可忽略;提出了钢的综合强化机理,指出对不同种类、不同尺寸的纳米析出粒子,应分别根据位错切割和位错绕过机理计算出析出强化贡献,然后与固溶强化和细晶强化贡献加和,求得钢的屈服强度;讨论了细晶强化与位错强化不能加和的原因以及相变对钢强度影响的表现形式
碳纳米管场效应管四进制全加器设计与分析 Article
Mohammad Hossein MOAIYERI,Shima SEDIGHIANI,Fazel SHARIFI,Keivan NAVI
《信息与电子工程前沿(英文)》 2016年 第17卷 第10期 页码 1056-1066 doi: 10.1631/FITEE.1500214
利用纳米粒子进行肿瘤分子成像 Review
程震,闫雪峰,孙夕林,申宝忠,Sanjiv Sam Gambhir
《工程(英文)》 2016年 第2卷 第1期 页码 132-140 doi: 10.1016/J.ENG.2016.01.027
基于AFM探针的纳米加工技术制备周期性纳米结构——沟槽和材料堆积形貌相结合 Article
耿延泉, 闫永达, 王继强, Emmanuel Brousseau, 孙彦文, 孙雅洲
《工程(英文)》 2018年 第4卷 第6期 页码 787-795 doi: 10.1016/j.eng.2018.09.010
本文提出了一种基于原子力显微镜(AFM)探针的加工技术制备周期性纳米结构的方法,该方法通过将加工得到的沟槽形貌和沟槽边缘的材料堆积形貌相结合得到周期性纳米结构。研究发现控制相邻沟槽的间距是保证周期性纳米结构质量的重要因素。实验结果表明,当相邻刻划轨迹间的进给量值等于单个沟槽两侧材料堆积峰值间的宽度时,可以通过本方法加工得到较高质量的周期性结构。加工得到的纳米结构周期性可以通过一维和二维快速傅里叶变换(FFT)算法进行评价。在检测得到周期结构的AFM 图像中,取其截面进行FFT并将幅频特性曲线归一化,在幅频特性曲线中用峰值部分面积与总体面积的比值来定量分析纳米结构的周期性。最后,对加工得到的周期性纳米结构产生的颜色化效应进行了研究,证明了其在防伪以及金属传感等领域有潜在的应用价值。
磁控螺旋形微纳米机器人在生物医学方面的应用 Review
邱发敏, Bradley J. Nelson
《工程(英文)》 2015年 第1卷 第1期 页码 21-26 doi: 10.15302/J-ENG-2015005
磁控螺旋形微纳米机器人可在低强度旋转磁场(<10 mT)的驱动下,实现亚微米精度的三维(3D)游动。由于低强度磁场对细胞和组织无害,磁控螺旋形微纳米机器人在生物医学方面有很大的应用前景,如微创手术、细胞操作和分析以及靶向治疗。本文系统介绍了磁控螺旋形微纳米机器人的制造方法、运动控制和生物医学应用。
千兆赫片上互联单壁纳米碳管电分析 Article
Zamshed Iqbal CHOWDHURY,Md. Istiaque RAHAMAN,M. Shamim KAISER
《信息与电子工程前沿(英文)》 2017年 第18卷 第2期 页码 262-271 doi: 10.1631/FITEE.1500349
纳米多孔储气材料的物理吸附特性研究进展 Review
Katie A. Cychosz,Matthias Thommes
《工程(英文)》 2018年 第4卷 第4期 页码 559-566 doi: 10.1016/j.eng.2018.06.001
评估纳米多孔材料的吸附性能并确定它们的结构表征,对于将这类材料用于包括气体储存在内的许多应用至关重要。气体吸附法可用于此表征,因为它可以评估从微孔到中孔的各种孔径。在过去的20 年中,关于有序纳米多孔材料中流体的吸附和相行为的知识以及基于统计力学的最先进的方法的创新和发展,如分子模拟和密度泛函理论,都取得了重大进展。笔者不仅讨论了流体在具有明确孔隙结构的各种纳米多孔材料中基础吸附机理的一些重要和中心特征,还讨论了这些特征对促进物理吸附表征和储存气体应用的重要性。
标题 作者 时间 类型 操作
电沉积Mo和Mo-Co合金纳米线用于互联电阻的电阻率改性
Jun Hwan Moon, Taesoon Kim, Youngmin Lee, Seunghyun Kim, Yanghee Kim, Jae-Pyoung Ahn, Jungwoo Choi, Hyuck Mo Lee, Young Keun Kim
期刊论文